Studi Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) Dengan Menggunakan Target Tak Planar
Jurnal Fisika dan Aplikasinya
doi 10.12962/j24604682.v6i2.926
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
June 10, 2010
Authors
Publisher
Lembaga Penelitian dan Pengabdian kepada Masyarakat ITS