Упругое Рассеяние Нейтрального Фтора На Атомах Si, O, C И H В Диапазоне Относительных Кинетических Энергий 2-200 eV
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2019.23.48713.17955
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences