Модификация Рельефа N-Поверхности AlGaInN-светодиодов Изменением Состава Газовой Смеси При Реактивном Ионном Травлении

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2020.06.49386.9353
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences