Модификация Рельефа N-Поверхности AlGaInN-светодиодов Изменением Состава Газовой Смеси При Реактивном Ионном Травлении
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2020.06.49386.9353
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2020
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences