Влияние Степени Нитридизации Сапфира И Обогащения Алюминием Зародышевого Слоя На Структурные Свойства Слоев AlN
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2018.06.45930.8600
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2018
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences