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Qualité Diélectrique De Couches Minces Isolantes De GaN Obtenues Par Pulvérisation Cathodique Réactive
Revue de Physique Appliquée
doi 10.1051/rphysap:01990002506048900
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Abstract
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Date
January 1, 1990
Authors
R. Carin
Publisher
EDP Sciences
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