Разрядная Система С Самонакаливаемым Полым Катодом И Испаряемым Анодом В Остроугольном Магнитном Поле Для Нанесения Оксидных Покрытий
Журнал технической физики
doi 10.21883/jtf.2019.06.47632.214-18
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences