Изменение Элементного Состава Тонких Пленок Цирконата-Титаната Свинца В Процессе Ионно-Плазменного Осаждения: Эксперимент И Моделирование
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftt.2019.07.47838.388
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences