Карбонизация Нанокристаллического Кремния С Помощью Фторуглерода
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2019.13.47954.17818
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences