Influence De La Technique De Dépôt d'Isolant Et Des Modes De Décapage Du Semiconducteur Sur Les Propriétés Électriques De Structures Métal-Al 2o3-InP
Revue de Physique Appliquée
doi 10.1051/rphysap:019830018012076900
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 1983
Authors
Publisher
EDP Sciences