Влияние Ионно-Лучевой Обработки В Процессе ВЧ Магнетронного Распыления На Свойства Плeнок ZnO

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.11.48444.9110
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search