Влияние Ионно-Лучевой Обработки В Процессе ВЧ Магнетронного Распыления На Свойства Плeнок ZnO
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.11.48444.9110
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences