Слоевое Сопротивление TiAlNiAu Тонкопленочной Металлизации Омических Контактов К Нитридным Полупроводниковым Структурам
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.01.46983.8886
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences