Слоевое Сопротивление TiAlNiAu Тонкопленочной Металлизации Омических Контактов К Нитридным Полупроводниковым Структурам

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.01.46983.8886
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search