Étude De l'Expansion Du Panache Plasma Formé Lors De l'Interaction Entre Un Laser Ultraviolet Et Une Cible De Nitrure De Bore ; Application À La Réalisation De Couches Minces
Annales de Physique
doi 10.1051/anphys/1997022
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Date
February 1, 1997
Authors
Publisher
EDP Sciences