Зависимость Свойств Вариативных Градиентно-Пористых Структур Кремния От Метода Формирования
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftt.2019.12.48540.23ks
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences