Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik
Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom
doi 10.37525/mz/2019-1/229
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
May 1, 2019
Authors
Publisher
Pusat Pengembangan Sumber Daya Manusia Minyak dan Gas Bumi