Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik

Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom
doi 10.37525/mz/2019-1/229
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Pusat Pengembangan Sumber Daya Manusia Minyak dan Gas Bumi


Related search