Pengaruh Waktu Pra-Etching Dan Ketebalan Film Pada Residual Stress Dari Thin Film Aluminium Nitrida Pada Sensor Magnetoelektrik

Jurnal Nasional Pengelolaan Energi MigasZoom

doi 10.37525/mz/2019-1/229

Full Text

Abstract

Available in

Date

Authors

Publisher

Pusat Pengembangan Sumber Daya Manusia Minyak dan Gas Bumi


Related search