Високочастотна Плазма При Атмосферному Тиску Як Засіб Осадження Тонких Плівок
Технічна інженерія
doi 10.26642/ten-2019-2(84)-36-42
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
December 11, 2019
Authors
Publisher
Zhytomyr State Technological University