Формирование Преципитатов В Si, Имплантированном Ионами -=sup=-64-=/SUP=-Zn-=SUP=-+-=/Sup=- И -=sup=-16-=/Sup=-O-=sup=-+-=/Sup=-
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2018.08.46205.8702
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2018
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences