Формирование Преципитатов В Si, Имплантированном Ионами -=sup=-64-=/SUP=-Zn-=SUP=-+-=/Sup=- И -=sup=-16-=/Sup=-O-=sup=-+-=/Sup=-

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2018.08.46205.8702
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search