Discover open access scientific publications

Search, annotate, share and cite publications

Publications by С.Д. Федотов

Влияние Твердофазной Рекристаллизации С Двойной Имплантацией На Плотность Структурных Дефектов В Ультратонких Слоях Кремния На Сапфире

Журнал технической физики

English