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Si単結晶のエピタキシャル気相成長ならびに成長層の物理的性質
Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku
doi 10.5796/kogyobutsurikagaku.31.178
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Abstract
Available in
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Date
March 5, 1963
Authors
Unknown
Publisher
The Electrochemical Society of Japan
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