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Industrie 4.0 - Energie 4.0 - Vakuum 4.0?
Vakuum in Forschung und Praxis
- Germany
doi 10.1002/vipr.201770601
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Abstract
Available in
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Categories
Surfaces
Films
Coatings
Condensed Matter Physics
Date
December 1, 2017
Authors
Ulf Seyfert
Publisher
Wiley
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