Contaminação De Lâminas De Silício Por Metais Durante a Imersão Em Solução Diluída De Ácido Fluorídrico Ou De Água Deionizada Contendo Cloretos Metálicos

Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo
doi 10.17563/rbav.v35i2.915
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SBV Sociedade Brasileira de Vacuo

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