Deposição De Filmes Finos De Nitreto De Titânio Em Plasma Com Efeito De Comprimento De Catodo Oco Em Gaiola Catódica
Revista Materia - Brazil
doi 10.1590/s1517-707620170003.0191
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Date
August 10, 2017
Authors
Publisher
FapUNIFESP (SciELO)