Estudo E Caracterização De Filmes De A-Si1-xCx:H Obtidos Por PECVD Visando Sua Aplicação Em MEMS E Dispositivos Ópticos.

doi 10.11606/d.3.2008.tde-11052009-170655
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Unknown

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Universidade de Sao Paulo Sistema Integrado de Bibliotecas - SIBiUSP

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