Влияние Температуры Мишени На Образование Нанорельефа При Облучении Газовыми Кластерными Ионами

Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2020.09.49362.18021
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences