Влияние Температуры Мишени На Образование Нанорельефа При Облучении Газовыми Кластерными Ионами
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2020.09.49362.18021
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2020
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences