Etude Par Microscopie Electronique Et Mesures De Conductance Electrique in Situ De La Cristallisation De Couches A-Si Obtenues Par Pyrolyse De Silane Et Disilane Par LPCVD Dans Des Conditions Ultra-Pures

Le Journal de Physique IV
doi 10.1051/jp4:1995329
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EDP Sciences

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