Discover open access scientific publications

Формирование NCL-Si В Аморфной Матрице a-SiO-=sub=-X-=/Sub=- : H, Расположенной Вблизи Анода И На Катоде, С Помощью Модулированной По Времени DC-плазмы С (SiH_4-Ar-O-=SUB=-2-=/SUB=-)-газовой Фазой (C-=sub=-O_2-=/Sub=-=21.5 Мол%)