Влияют Ли Химические Эффекты На Накопление Структурных Нарушений При Имплантации В GaN Ионов Фтора?
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.11.48439.9145
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences