Влияют Ли Химические Эффекты На Накопление Структурных Нарушений При Имплантации В GaN Ионов Фтора?

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.11.48439.9145
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search