Дислокационная Фотолюминесценция В Кремнии, Имплантированном Ионами Фтора
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2017.01.44084.16420
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2017
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences