Влияние Режимов Электрохимического Травления При Одностадийном И Двухстадийном Формировании Пористого Кремния На Степень Окисления Его Поверхностных Слоев В Естественных Условиях

Конденсированные среды и межфазные границы

doi 10.17308/kcmf.2019.21/2364