Особенности Начальной Стадии Гетероэпитаксии Слоев Кремния На Германии При Их Выращивании Из Гидридов Кремния

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.07.47880.8973
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search