Особенности Начальной Стадии Гетероэпитаксии Слоев Кремния На Германии При Их Выращивании Из Гидридов Кремния
Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.07.47880.8973
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2019
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences