Эффект Горского При Синтезе Пленок Карбида Кремния Из Кремния Методом Топохимического Замещения Атомов
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2017.13.44815.16625
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2017
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences