Осаждение Пленок Кремния, Легированных Бором И Фосфором Газоструйным Плазмохимическим Методом

Журнал технической физики
doi 10.21883/ftp.2019.01.47000.8917
Full Text
Abstract

Available in full text

Date
Authors
Publisher

Ioffe Institute Russian Academy of Sciences


Related search