Создание Дифракционной Решетки На Алмазной Подложке Имплантацией Ионами Бора
Журнал технической физики
doi 10.21883/pjtf.2017.02.44185.16385
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
January 1, 2017
Authors
Publisher
Ioffe Institute Russian Academy of Sciences