Сравнительные Характеристики Однослойных И Двухслойных Тензопреобразователей Давления На Основе Структур Кремний–на–сапфире
Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering
doi 10.17073/1609-3577-2012-1-66-67
Full Text
Open PDFAbstract
Available in full text
Date
March 16, 2015
Authors
Publisher
National University of Science and Technology MISiS